ለዋፈር ሊቶግራፊ ሂደት ትክክለኛውን የሚጣሉ ጓንቶች እንዴት መምረጥ ይቻላል?

በሴሚኮንዳክተር ዋፈር ማምረቻ ውስጥ፣ የሊቶግራፊ ሂደቱ ወሳኝ፣ በትክክለኛነት ላይ የተመሰረተ እርምጃ ሲሆን የቺፕ ምርትን የሚወስን ነው። በዋፈር ማምረቻ ሂደት ውስጥ "የመጋለጥ እና የምስል ዋና አካል" እንደመሆኑ መጠን፣ ሊቶግራፊ መላውን የስራ ፍሰት - የስፒን ሽፋን፣ ተጋላጭነት፣ ልማት፣ ቅርፊት እና እርጥብ ጽዳትን ጨምሮ - ያካትታል እና በአካባቢ ንፅህና፣ በርኩሰት ቁጥጥር፣ በኤሌክትሮስታቲክ ጥበቃ እና በኬሚካል መቋቋም ላይ እጅግ በጣም ጥብቅ መስፈርቶችን ያስገድዳል። የማይክሮን ደረጃ የአቧራ ቅንጣቶች፣ የመከታተያ አዮን ፍልሰት እና ጊዜያዊ ኤሌክትሮስታቲክ ፈሳሾች ሁሉም በቀጥታ በዑደቶች ውስጥ የፎቶ ተከላካይ ጉድለቶችን፣ የንድፍ አለመመጣጠንን፣ የዋፈር ኦክሳይድን እና ማይክሮ-አጫጭር ወረዳዎችን ሊያስከትሉ ይችላሉ፣ ይህም ሙሉ ዋፈርዎችን ወደ መቧጨር እና ከፍተኛ የምርት ኪሳራ ያስከትላል። ብዙ FABዎች የፎቶሊቶግራፊ ሂደቶቻቸውን ምርት ለማሻሻል ይታገላሉ። መሳሪያዎች፣ ሂደቶች እና የአካባቢ መለኪያዎች ሁሉም በሥርዓት ቢሆኑም እንኳ፣ ማነቆው ብዙውን ጊዜ አነስተኛ በሚመስሉ የእጅ መከላከያ ፍጆታዎች ላይ ይገኛል። መደበኛ ክፍል 1,000 ወይም የኢንዱስትሪ ደረጃ የጽዳት ክፍል ጓንቶች ለፎቶሊቶግራፊ ሂደት እጅግ በጣም ከፍተኛ ደረጃዎች ሙሉ በሙሉ ተስማሚ አይደሉም።

በሊቶግራፊ ሂደት ውስጥ የተለመዱ የጽዳት ጓንቶችን መጠቀም በጥብቅ የተከለከለው ለምንድነው?

የዱቄት ቅሪት የፎቶሪዚስት ብክለትን ያስከትላል

ከመጠን በላይ የሆነ የሰልፈር እና የክሎራይድ አዮኖች በዋፈር ላይ ያሉትን ወረዳዎች ያበላሻሉ

የማይንቀሳቀስ ኤሌክትሪክ ከቁጥጥር ውጪ ሆነ፣ ይህም በትክክለኛ የፎቶሊቶግራፊ ዋፈር ላይ ብልሽት አስከትሏል

መፋቅና መፍሰስ፣ ይህም በማምረት ሂደት ውስጥ የውጭ ቁሶች ጉድለት እንዲፈጠር ያደርጋል

የLjieClean ክፍል 100 ዱቄት-ነጻ የኒትሪል ጓንቶች

ሱዙ ሊደር በሴሚኮንዳክተር ዋፈር ማምረቻ ዘርፍ ላይ ትኩረት በማድረግ እና በሊቶግራፊ ሂደት ውስጥ ያሉትን የህመም ነጥቦችን በመፍታት ላይ ይገኛል፣ የጠቅላላውን የዋፈር ሊቶግራፊ ሂደት የምርት መስፈርቶችን በትክክል የሚያሟሉ ልዩ የክፍል 100 ዱቄት-አልባ፣ ዝቅተኛ ጋዝ የሚፈጥሩ ናይትሪል ጓንቶችን አዘጋጅተናል፣ ይህም ለብዙ የጨርቃጨርቅ እና የዋፈር ማሸጊያ እና የሙከራ ኩባንያዎች ተመራጭ የመከላከያ ፍጆታዎች ያደርጋቸዋል።

1. በዲክሎራይድ ላይ የተመሰረተ ዱቄት-ነጻ ሂደት፡ በፎቶሊቶግራፊ ሂደት ውስጥ የዱቄት ብክለት የለም

ይህ ዘዴ በሴሚኮንዳክተር ላይ የተመሰረተ የክሎሪን ማጣሪያ ሂደትን በመጠቀም፣ በጠቅላላው ሂደት ውስጥ እንደ ታልክ፣ የበቆሎ ስታርች ወይም የሲሊኮን ዘይት ያሉ ረዳት ተጨማሪዎችን መጨመር አያስፈልገውም። በሂደቱ ውስጥ ለስላሳ አተገባበርን ያረጋግጣል፣ በምንጩ ላይ ፎቶሬዚስትን የሚበክሉ የዱቄት ቅንጣቶችን እና የሲሊኮን ዘይት ቅሪቶችን ያስወግዳል፣ በዚህም በፎቶሊቶግራፊ ሂደት ውስጥ የውጭ ቅንጣቶችን ጉድለቶች ሙሉ በሙሉ ይፈታል።

2 ባለብዙ ደረጃ እጅግ በጣም ንፁህ ውሃ ማጠብ ዝቅተኛ ሰልፈር፣ ዝቅተኛ ክሎሪን እና ዝቅተኛ የአዮን ይዘት ያስገኛል

ከፍተኛ ንፁህ ውሃ በመጠቀም በተለያዩ ዑደቶች ጥልቅ በሆነ ውሃ በማጠብ፣ ጥሬ እቃ ተጨማሪዎች እና የገጽታ ቅሪቶች ይወገዳሉ። የሰልፈር፣ የክሎሪን እና የሚሟሟ የብረት አየኖች ይዘት በጥብቅ ቁጥጥር ይደረግበታል፣ ይህም ዝቅተኛ NVR (ተለዋዋጭ ያልሆነ ቅሪት) ያስከትላል። ይህ የዋፈር ኦክሳይድን፣ የሽፋን ዝገትን እና የመቀረጽ ጉድለቶችን ይከላከላል፣ ይህም ጓንቶችን ለ8 እና 12 ኢንች ዋፈርዎች ከሚያስፈልጉት የሊቶግራፊ ሂደቶች ጋር ሙሉ በሙሉ ተኳሃኝ ያደርገዋል።

ኤሌክትሮስታቲክ-ስሜታዊ ዋፈርዎችን ለመጠበቅ 3 በሻጋታ የተሻሻለ የ ESD ጥበቃ

ጎንርስ ለገበያ ከሚቀርቡት ጊዜያዊ የሚረጩ ሽፋኖች ጋር በተለየ መልኩ በኒትሪል ቤዝ ቁሳቁስ ላይ የሻጋታ ፀረ-ስታቲክ ማሻሻያ ቴክኖሎጂን ይጠቀማል። ይህ የተረጋጋ እና ወጥ የሆነ የገጽታ መቋቋምን ያረጋግጣል፣ ይህም የፎቶ ተከላካይ መበላሸትን እና ትክክለኛ የዋፈር ወረዳዎችን ሊጎዳ የሚችል የማይንቀሳቀስ ክምችትን ለመከላከል በመላው ሂደት ውስጥ የማይንቀሳቀስ ኤሌክትሪክን ያለማቋረጥ ያሰራጫል። እንደ ተጋላጭነት እና ልማት ላሉ ዋና የሊቶግራፊ ደረጃዎች ተስማሚ ነው።

4 ተለዋዋጭ እና ምቹ፣ ለማይክሮን-ደረጃ ትክክለኛ ስራዎች ተስማሚ

የጓንት ቁሱ ተለዋዋጭ እና ከእጅ ቅርፅ ጋር የሚስማማ ነው። በጣቶቹ ጫፍ ላይ የማይንሸራተት ሸካራነት ያለው ዲዛይን ያለው ሲሆን ቀላል ክብደት ያለው እና ግዙፍ ያልሆነ ሲሆን እንደ ፎቶሊቶግራፊ ዋፈር አያያዝ፣ የመሳሪያ ማረም እና ትክክለኛ ምርመራ ላሉ ትክክለኛ ስራዎች ተስማሚ ያደርገዋል። ያልተገደበ እንቅስቃሴን ይሰጣል እና መንሸራተትን ይከላከላል፣ በእጅ በሚሰሩ ስራዎች ወቅት በአጋጣሚ በሚከሰቱ እብጠቶች የሚደርሰውን ጉዳት ውጤታማ በሆነ መንገድ ይቀንሳል። በተጨማሪም፣ ለፎቶሊቶግራፊ ሟሟቶች እና ለቀላል አሲዶች እና አልካላይስ የሚቋቋም ሲሆን ለረጅም ጊዜ ጥቅም ላይ በሚውልበት ጊዜም እንኳ ሳይረጅ ወይም ሳይቀደድ ይቆያል።

5

✅ ድርብ ሽፋን ያለው የቫክዩም-ማሸጊያ ሁለተኛ ደረጃ ብክለትን ያስወግዳል

የተጠናቀቁ ምርቶች በጠቅላላው ሂደት ውስጥ በክፍል 100 የጽዳት ክፍል ውስጥ በድርብ ሽፋን በቫክዩም-የታሸገ ማሸጊያ በመጠቀም ይታሸጋሉ፣ ይህም በማከማቻ እና በማጓጓዝ ጊዜ ከአቧራ እና ከእርጥበት ሙሉ በሙሉ ያገልላቸዋል። ጥቅሉን ሲከፍቱ ምንም አይነት ሁለተኛ ብክለት አይኖርም፣ ይህም በክፍል 100 የሊቶግራፊ የጽዳት ክፍሎች ውስጥ ወዲያውኑ ጥቅም ላይ እንዲውሉ ያስችላቸዋል።