የሊጂጂንግ 9 ኢንች ዝቅተኛ ክሎሮፕሪን ጓንቶች፡ ለሴሚኮንዳክተር ማምረቻ ንጹህ መከላከያ አዲሱ መስፈርት

በሴሚኮንዳክተር ማምረቻ ውስጥ እየጨመረ የመጣውን ጥብቅ “ዜሮ-ጉድለት” መስፈርቶችን ከግምት ውስጥ በማስገባት፣ የሊጂ 9 ኢንች ዝቅተኛ ክሎሪን ናይትሪል ጓንቶች በዋፈር ማቀነባበሪያ እና በቺፕ ማሸጊያ ደረጃዎች ውስጥ አስፈላጊ የመከላከያ መሳሪያዎች ሆነዋል ምክንያቱም ልዩ በሆነ ዝቅተኛ አዮኒክ ቅሪት እና ከፍተኛ የንፅህና አፈፃፀም ምክንያት። በልዩ ማቀነባበሪያ አማካኝነት የጓንቱ ክሎሪን ይዘት በ≤50ppm በጥብቅ ቁጥጥር ይደረግበታል - ይህም የኢንዱስትሪውን 100ppm በከፍተኛ ሁኔታ ይበልጣል። ይህ በዋፈር ወለል ላይ በክሎራይድ አዮን ፍልሰት ምክንያት የሚከሰቱ የዝገት አደጋዎችን ውጤታማ በሆነ መንገድ ይከላከላል፣ ይህም የሴሚኮንዳክተር ማምረቻ ጥቃቅን የብክለት ቁጥጥር መስፈርቶችን ያሟላል።

በሊቶግራፊ ሂደቶች ወቅት የጓንት ንፅህና በቀጥታ የፎቶ መቋቋም ሽፋን ትክክለኛነትን እና የተጋላጭነት ውጤቶችን ይነካል። በክፍል 100,000 የጽዳት ክፍሎች ውስጥ የተመረተ እና ለሌዘር አቧራ ማስወገጃ የተጋለጠ ይህ ምርት ከ0.2 ቅንጣቶች/ካሬ ኢንች በታች የገጽታ ቅንጣት ልቀት ያሳያል - ይህም የ ISO ክፍል 3 የጽዳት ክፍል መስፈርቶችን ያሟላል። ይህ ከዋፈር ወለል ጋር የማይክሮ-ቅንጣት ማጣበቂያን በብቃት ይከላከላል፣ በዚህም የሊቶግራፊ ጉድለቶችን ይቀንሳል። የ9 ኢንች ርዝመት ያለው ዲዛይን ከእጅ አንጓ እስከ መዳፍ ድረስ ሙሉ ሽፋን ይሰጣል። ከላስቲክ ካፍ መዋቅር ጋር ተጣምሮ፣ በእጅጌው መክፈቻ ላይ አቧራ እንዳይፈስ በብቃት ይከላከላል፣ በሊቶግራፊ ሂደቶች ውስጥ ለተለዋዋጭ የንፁህ አካባቢዎች ጥብቅ መስፈርቶችን ያሟላል።

እንደ መቅረጽ እና የአዮን ተከላ ባሉ በጣም ዝገት ባላቸው ሪአጀንቶች በሚከናወኑ ሂደቶች ወቅት፣ እነዚህ ጓንቶች ልዩ የሆነ የኬሚካል መቋቋም ያሳያሉ። እንደ ሃይድሮፍሎሪክ አሲድ እና ፎስፈረስ አሲድ ባሉ የተለመዱ ሴሚኮንዳክተር ሪአጀንቶች ውስጥ ለ24 ሰዓታት የመጥለቅ ሙከራ ካደረጉ በኋላ ምንም አይነት እብጠት ወይም ስንጥቅ አያሳዩም፣ የክብደት ለውጥ መጠን ከ0.8% በታች ነው። ይህም ለኦፕሬተሮች አስተማማኝ የእጅ መከላከያ ይሰጣል፣ እንዲሁም የሬአጀንት ብክለት አደጋዎችን ያስወግዳል። የጣቶቹ ጣቶች 0.02ሚሜ በሌዘር የተቀረጹ ፀረ-ተንሸራታች ሸካራነቶችን ያሳያሉ፣ ይህም 12 ኢንች ዋፈርዎችን ሲይዙ ግጭት በ35% ይጨምራል እና የዋፈር መንሸራተት አደጋን በ60% ይቀንሳል። ይህም በመከላከያ ደህንነት እና በአሠራር መረጋጋት መካከል ሚዛን ያስገኛል።

በአሁኑ ጊዜ በSEMI F57 ደረጃዎች የተመሰከረላቸው እነዚህ ጓንቶች በSMIC እና Hua Hong Semiconductor ባሉ ግንባር ቀደም የማምረቻ ፋብሪካዎች ውስጥ በስፋት ጥቅም ላይ ይውላሉ። በእጅ ንክኪ ምክንያት የሚፈጠረውን የዋፈር ቆሻሻ መጠን በ38% ይቀንሳሉ፣ ይህም የጽዳት ክፍል ጥበቃን ከአሠራር ቅልጥፍና ጋር ለማመጣጠን በሴሚኮንዳክተር ማምረቻ ውስጥ እንደ ምርጥ ምርጫ አድርገው ያስቀምጣሉ።